| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN METALLIC SI FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6234662(A) |
申请公布日期 |
1987.02.14 |
| 申请号 |
JP19850174318 |
申请日期 |
1985.08.09 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
FUKUTAKE TAKESHI;ARAYA MATAO |
| 分类号 |
H01L31/04;B22D11/00;B22D23/00;B22D25/02;H01L21/208 |
主分类号 |
H01L31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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