Method and device making use of it to determine the signal frequencies at at least one point of a sample with the use of a scanning microscope.

摘要

Zur Ermittlung der an wenigstens einem Punkt der Probe (IC) vorhandenen Signalfrequenzen wird dieser mit einem Primärstrahl des Rastermikroskops abgetastet. Über eine breitbandige Auswerteschaltung (LI') wird bei einer relativ schnellen Durchstimmung des Frequenzbereichs zunächst ermittelt, wann die Auswerteschaltung (LI') gerade auf eine Signalfrequenz abgestimmt ist. Liegt eine solche Abstimmung vor, so erfolgt eine Umschaltung auf eine schmalbandige Auswerteschaltung (LI) sowie eine Umschaltung auf eine langsame Durchstimmung. Damit wird eine hohe Empfindlichkeit bei insgesamt kurzer Meßzeit erreicht.