| 发明名称 |
DEVICE FOR APPLYING COATING LIQUID TO SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08103710(A) |
申请公布日期 |
1996.04.23 |
| 申请号 |
JP19940270337 |
申请日期 |
1994.10.05 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
BABA TAKAYUKI |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C1/02;B05C5/00;H01L21/30;(IPC1-7):B05C5/00 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
