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发明名称
摘要
申请公布号 JPS626351(B2) 申请公布日期 1987.02.10
申请号 JP19820101479 申请日期 1982.06.15
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 HENRII JON GEIPERU JUNIA;RARII ARAN NESUBITSUTO
分类号 H01L29/78;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;H01L23/52;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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