| 发明名称 |
SUBSTRATE CONVEYING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6231632(A) |
申请公布日期 |
1987.02.10 |
| 申请号 |
JP19850171421 |
申请日期 |
1985.08.03 |
| 申请人 |
NIPPON KOGAKU KK <NIKON> |
发明人 |
TOKUSHIMA SHINOBU;MATSUMOTO YASUHISA;TSUDA TATSUHIRO;OTOTAKE TARO |
| 分类号 |
H01L21/677;B65G1/00;B65G49/07;B65H3/32;B65H5/04;H01L21/67;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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