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发明名称 CHIP BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6226830(A) 申请公布日期 1987.02.04
申请号 JP19850165132 申请日期 1985.07.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 INAGAKI NORIYUKI;MAKINO YUTAKA;YAMAMOTO AKIHIRO
分类号 H01L21/52;H01L21/58 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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