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发明名称 FORMATION OF PLASMA CVD FILM
摘要
申请公布号 JPS6225412(A) 申请公布日期 1987.02.03
申请号 JP19850164461 申请日期 1985.07.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 I KENICHI;KAWAI SATORU;OKI KENICHI
分类号 H01L31/04;H01L21/205 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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