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发明名称
THIN-FILM COATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6223103(A)
申请公布日期
1987.01.31
申请号
JP19850163237
申请日期
1985.07.23
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KANEKO HIROMI
分类号
H01L21/203;C23C14/54;H01L21/26
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
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