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发明名称 VORRICHTUNG FUER DIE PRUEFUNG UND/ODER BEARBEITUNG VON KLEINBAUTEILEN
摘要
申请公布号 DE3525866(A1) 申请公布日期 1987.01.29
申请号 DE19853525866 申请日期 1985.07.19
申请人 HERRMANN,JAKOB 发明人 HERRMANN,JAKOB
分类号 G01R31/28;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/677;(IPC1-7):B65G47/24;B65G47/14;H01L21/68;H05K13/02 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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