| 发明名称 |
SELECTIVELY GROWING METHOD FOR ALUMINA FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6220331(A) |
申请公布日期 |
1987.01.28 |
| 申请号 |
JP19850159900 |
申请日期 |
1985.07.18 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
OBA TAKAYUKI;KOBAYASHI IKURO;SHIOTANI YOSHIMI;FURUMURA YUJI;MIENO FUMITAKE |
| 分类号 |
H01L23/522;H01L21/283;H01L21/316;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L23/522 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
