复合磁控溅射靶及其镀膜方法

摘要

一种磁控溅射靶装置，由至少两个可调场强的电磁单元拼装而成。这些单元共用一个阴极靶板和溅射电源。各个单元的靶面场强可以通过各自的电磁铁分别加以调节，从而实现各单元的功率分别调节。各个单元可以单独使用或同时使用。当各个单元分别采用异种材料的靶材时，该溅射装置可以实现镀制各种金属材料(包括铁磁材料)的合金膜，并实现合金膜成份的连续调节。

主权项

1、一种复合磁控溅射靶装置，其特征在于是由两个或两个以上可调场强的电磁单元拼装而成的，这些单元共用一个阴极和同一个溅射电源，且单元具有各自独立的励磁电流源，并在阴极靶板内表面产生各自独立的跑道磁场。