Process for manufacturing spinneret plates.

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Spinndüsenplatten mit trichterförmigen Vorkanälen und sich hieran anschließenden Düsenkapillaren unter Anwendung tiefenlithographischer und galvanischer Methoden. Durch die erfindungsgemäße Verwendung von mit trichterförmigen Vorkanälen versehenen metallischen Platten als Bestrahlungsmaske wird ein versatzfreier, fluchtender Übergang von den Vorkanälen zu den Düsenkapillaren erzielt, wobei als strahlungsempfindliches Material sowohl ein Negativ-Resist als auch ein Positiv-Resist eingesetzt werden kann.