发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6218021(A) 申请公布日期 1987.01.27
申请号 JP19850157393 申请日期 1985.07.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TSUCHIYA NORIHIKO;USAMI TOSHIRO;MIKATA YUICHI
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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