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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6218021(A)
申请公布日期
1987.01.27
申请号
JP19850157393
申请日期
1985.07.17
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
TSUCHIYA NORIHIKO;USAMI TOSHIRO;MIKATA YUICHI
分类号
H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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