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发明名称 VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6217172(A) 申请公布日期 1987.01.26
申请号 JP19850154686 申请日期 1985.07.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 NIKAWA HIDEO
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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