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发明名称
摘要
申请公布号 DE3145855(C2) 申请公布日期 1987.01.22
申请号 DE19813145855 申请日期 1981.11.19
申请人 SHARP K.K., OSAKA, JP 发明人 NIMEZAKI, SHIGEHIRO, IKOMA, NARA, JP
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L21/312;H01L21/336;H01L21/84;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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