| 摘要 |
本发明揭示为照射一层(3)，一辐射光束(7)导向并聚焦于该层(3)上的一光点(11)，引起该层(3)相对于该光学元件(59)的相对运动，因而成功地使该层(3)的不同部分受到照射，并且在与最靠近该层(3)的该光学元件(59)一表面之间保持一空间(53)。而且，该辐射透过其照射该层(3)上的该光点(11)的至少一部分该空间(53)保持充满一液态(91)。藉由将一气流(71至73)导向该层(3)的一表面区域(74)，可确实防止液态(91)通过该表面区域(74)，且不会损坏该层(3)。在该表面区域(74)附近，从该层(3)中抽去该液态(91)。 |
