光罩毛胚及光罩

摘要

本发明系在取用要求大型且微细之图案的毛胚时，可防止粉粒的产生。本发明提供一种光罩毛胚，其系仅于透光性基板1主表面上之除了外缘1S以外的部分上形成遮光膜2，将该外缘部1S作为遮光膜2的未成膜区域而成者，其特征为：上述透光性基板1的尺寸，一边为300mm以上，同时，上述未成膜区域1S的宽度为3mm以上，并且，上述遮光膜2系使用雷射描绘以进行图案加工。