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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6211277(A) 申请公布日期 1987.01.20
申请号 JP19850150452 申请日期 1985.07.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FURUYA TOSHIKAZU
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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