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经营范围
发明名称 IONIMPLANTERINGSSYSTEM
摘要
申请公布号 DK24187(D0) 申请公布日期 1987.01.16
申请号 DK19870000241 申请日期 1987.01.16
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS 发明人 RIAHI, SHANTIA
分类号 H01J27/02;H01J37/08;H01J37/317;H01J49/04;(IPC1-7):H01J27/02 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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