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发明名称 ELECTRONIC DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS628536(A) 申请公布日期 1987.01.16
申请号 JP19850146524 申请日期 1985.07.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANIZAKI YASUNOBU;KANAI AKIRA
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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