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发明名称 METHOD FOR FORMING VIAS IN A PLANAR STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP0165575(A3) 申请公布日期 1987.01.14
申请号 EP19850107402 申请日期 1985.06.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LEARY-RENICK, PAMELA ANNE;STRINIVASAN, RANGASWAMY
分类号 H01L23/12;H01L21/48;H01L23/538;H05K1/03;H05K1/11;H05K3/00;H05K3/46;(IPC1-7):H01L23/52 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
主权项
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