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发明名称
SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号
JPS627851(A)
申请公布日期
1987.01.14
申请号
JP19850144771
申请日期
1985.07.03
申请人
HITACHI LTD
发明人
ARIMATSU KEIJI;SETOYAMA HIDETSUGU;OSHITA YOICHI
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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