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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS624339(A) 申请公布日期 1987.01.10
申请号 JP19850143710 申请日期 1985.06.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KOMATSU SHIGERU
分类号 H01L21/8222;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/082 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
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