| 发明名称 |
VEDVARENDE PNICTIDKILDE OG LEVERINGSSYSTEM TIL FILMAFLEJRING, ISAER VED KEMISK DAMPAFLEJRING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DK318384(A) |
申请公布日期 |
1985.08.18 |
| 申请号 |
DK19840003183 |
申请日期 |
1984.06.28 |
| 申请人 |
STAUFFER CHEMICAL COMPANY |
发明人 |
KUCK MARK ALLEN;GERSTEN SUSAN WENDY |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/00;C23C16/448;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C30B/;H01L/ |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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