发明名称 MOLECULAR BEAM EPITAXIAL DEVICE
摘要
申请公布号 JPS622521(A) 申请公布日期 1987.01.08
申请号 JP19850140335 申请日期 1985.06.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUJIOKA KAZUMASA;MORIOKA MAKOTO
分类号 H01L21/203;G01J5/00;H01L21/26 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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