| 发明名称 |
SELECTIVE GROWTH METHOD FOR TUNGSTEN SILICIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS621228(A) |
申请公布日期 |
1987.01.07 |
| 申请号 |
JP19850139535 |
申请日期 |
1985.06.26 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
FURUMURA YUJI;MIENO FUMITAKE;TOKI MASAHIKO;ITO KIKUO;TAKEDA MASAYUKI |
| 分类号 |
C23C16/42;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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