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发明名称
VAPOR DEPOSITING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS621870(A)
申请公布日期
1987.01.07
申请号
JP19850138165
申请日期
1985.06.25
申请人
NEC CORP
发明人
TANAKA HIROSHI
分类号
C03C17/245;B05B1/24;C23C16/00;C23C16/44;C23C16/455
主分类号
C03C17/245
代理机构
代理人
主权项
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