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发明名称 PROCESSING OF SEMICONDUCTOR WAFER USING NON-FASTENING BOAT
摘要
申请公布号 JPS61296711(A) 申请公布日期 1986.12.27
申请号 JP19860147983 申请日期 1986.06.24
申请人 MOTOROLA INC 发明人 MAARO KOTA
分类号 H01L21/673;H01L21/22;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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