| 发明名称 |
MACHINE DE TRAINTEMENT DE SUBSTRATS MINCES ET SES DISPOSITIFS DE TRANSPORT ET DE TRANSMISSION DE CHALEUR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2475579(B1) |
申请公布日期 |
1986.12.26 |
| 申请号 |
FR19800027227 |
申请日期 |
1980.12.22 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES |
发明人 |
FREDERICK THOMAS TURNER, MARTIN ALBERT HUTCHINSON, RAYMOND HOWARD SHAW ET LAWRENCE TURNER LAMONT JR.;HUTCHINSON MARTIN ALBERT;SHAW RAYMOND HOWARD;LAMONT LAWRENCE TURNER JR |
| 分类号 |
B65G49/07;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):C23C13/08;H01L21/68;H01L21/88 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
