| 主权项 |
一种基板盒洗净装置，是将具备基体及覆盖该基体之壳体且于内部可收容基板的基板盒，在里面没有上述基板的状态下进行洗净的基板盒洗净装置，前述基板盒洗净装置具备有：小室，形成清洁的空间；洗净槽，设于该小室内，且将上述基板盒之基体及壳体各零件以分离状态收容并洗净；支持台，在上述小室内支持上述基板盒；及搬送机构，将该基板盒之各零件在上述支持台与洗净槽之间进行搬送，又，于上述小室，设有上述基板盒可通过且以挡门进行开闭的开口，此外，更具备有：载置台，于上述小室之上述开口的外部可将上述基板盒定位于预定位置而进行载置；及移载机构，在上述基板盒之洗净前使上述挡门开启而将被载置于上述载置台的基板盒移载至上述支持台，在该基板盒之洗净后使上述挡门开启而将被支持于上述支持台的基板盒移载至上述载置台，并且，上述移载机构具备有：机台，搭载上述支持台，可移动于如下的2个位置：进出至上述载置台侧而在该载置台与上述支持台之间进行上述基板盒之受取及交付的进出位置、以及退后至
上述小室内而在与上述搬送机构之间进行该基板盒之交付及受取的后退位置；轨道，使该机台可移动地支持该机台；及进退驱动部，使该机台移动于上述进出位置及后退位置的2个位置。
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