加工设备以及用于材料加工的方法

摘要

本发明涉及一种加工设备(10)，包括至少一个加工头(16)，该加工头用于提供至少一个高能加工射束(22)、尤其是电子射束或激光射束。这种加工设备用于工件(28)上的材料侵蚀或工件(28)的材料连接，尤其用于工件焊接。根据本发明规定，所述加工头(16)配备有至少一个设计成光学相干层析成像装置的扫描装置(32)，该扫描装置(32)用于表面扫描。此外，提出了一种方法，该方法用于使用高能加工射束的材料加工，并用于借助光学相干层析成像装置对工件的未加工、已加工或正在加工的表面区域进行扫描。

主权项

1.一种加工设备(10)，包括至少一个加工头(16)，所述至少一个加工头用于提供至少一个高能加工射束(22)，尤其是电子射束或激光射束，其特征在于，所述加工头(16)配备有至少一个扫描装置，所述至少一个扫描装置设计成光学相干层析成像装置(32)并用于表面扫描。