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发明名称
摘要
申请公布号
JPS61203547(U)
申请公布日期
1986.12.22
申请号
JP19850087877U
申请日期
1985.06.11
申请人
发明人
分类号
H01L21/50;B65H5/00;(IPC1-7):H01L21/50
主分类号
H01L21/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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