| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR TRANSFERRING WORK BETWEEN CASSETTE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS61284357(A) |
申请公布日期 |
1986.12.15 |
| 申请号 |
JP19850299646 |
申请日期 |
1985.12.26 |
| 申请人 |
MACHINE TECHNOL INC |
发明人 |
RICHIYAADO HOWAADO RUBIN;GIYARII HIRUMAN;RUISU ERUSUWAASU ZAARU;UIRIAMU KEISU HEIZU |
| 分类号 |
B23Q7/10;B65G49/07;H01L21/67;H01L21/677 |
主分类号 |
B23Q7/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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