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经营范围
发明名称
AETZMITTEL FUER POLYKRISTALLINE SILICIUMSCHICHTEN
摘要
申请公布号
DD206168(B1)
申请公布日期
1986.12.10
申请号
DD19820240552
申请日期
1982.06.09
申请人
VEB FUNKWERK ERFURT,DD
发明人
MIKOLAJCZAK,HANS-JOACHIM,DD;CHEMNITIUS,RENATE,DD
分类号
C23F1/02;C23F1/24;H01L21/302;(IPC1-7):C23F1/24
主分类号
C23F1/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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