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发明名称 SONDE-FORMING SYSTEM FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 SU1275585(A1) 申请公布日期 1986.12.07
申请号 SU19833657435 申请日期 1983.10.27
申请人 MO I ELEKTRONNOGO MASHINOSTROENIYA 发明人 PANKRATOV VLADIMIR V,SU;RYBALKO VLADIMIR V,SU;TIKHONOV ALEKSANDR N,SU
分类号 H01J37/28 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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