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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SPEZIELLEN DOTIERUNGSPROFILEN IN FESTKOERPERN
摘要
申请公布号 DD241331(A1) 申请公布日期 1986.12.03
申请号 DD19850280941 申请日期 1985.09.24
申请人 HUMBOLDT-UNIVERSITAET,ZU BERLIN,,,DD 发明人 HOLLDACK,KARSTEN,DD;KERKOW,HARTMUT,DD;FRENTRUP,WINFRIED,DD;GERICKE,MICHAEL,DD
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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