| 发明名称 |
TARGET ASSEMBLY FOR SPUTTERING MAGNETIC MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS61271810(A) |
申请公布日期 |
1986.12.02 |
| 申请号 |
JP19860116302 |
申请日期 |
1986.05.22 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC INC |
发明人 |
CHIYAARUZU II UITSUKASHIYAMU |
| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/34;G11B5/85;G11B5/851;H01F41/18;H01J37/34;H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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