| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUM AETZEN VON WERKSTUECKEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH658751(A5) |
申请公布日期 |
1986.11.28 |
| 申请号 |
CH19850004426 |
申请日期 |
1983.02.23 |
| 申请人 |
DRYTEK, INC. |
发明人 |
MAHER, JOSEPH A., JUN.;ZAFIROPOULO, ARTHUR W. |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/302;H01J37/317;H05H1/18 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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