| 发明名称 |
APPARATUS FOR EXCITING PLASMA IN GAS COLUMN BY SUPERHIGH FREQUENCY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS61263128(A) |
申请公布日期 |
1986.11.21 |
| 申请号 |
JP19860070598 |
申请日期 |
1986.03.28 |
| 申请人 |
CENTRE NATL RECH SCIENT <CNRS> |
发明人 |
FUIRITSUPU RUPURANSU;JIYAN MAREKU;SERUJIYU SAADA;EMIIRU BUROIE;JIYATSUKU MIINIYU |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01P7/06;H01S3/032;H01S3/041;H01S3/0975;H01S3/22;H01S3/227;H05H1/46 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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