发明名称 Cyclic acetals or ketals of beta-ketoesters or amides.
摘要 Verbindungen der Formel I <IMAGE> eignen sich in Kombination mit Verbindungen, die unter Einfluss aktinischer Strahlung Säure abspalten, als positive Photoresists. In der Formel I bedeuten R¹ und R² Wasserstoff, Alkyl, Aryl, Cycloalkyl, Aralkyl oder Alkaryl, R³-R<8> Wasserstoff oder Niederalkyl, X -O- oder -NR<9>-, R<9> Wasserstoff oder C1-C4Alkyl, n 0 oder 1, m 2, 3 oder 4 und Q einen m-wertigen organischen Rest. Die Photoresists eignen sich zur Herstellung von Druckformen, gedruckten Schaltungen, integrierten Schaltkreisen oder silberlosen photographischen Filmen.
申请公布号 EP0202196(A2) 申请公布日期 1986.11.20
申请号 EP19860810207 申请日期 1986.05.06
申请人 CIBA-GEIGY AG 发明人 ROTH, MARTIN, DR.
分类号 C07D317/30;C07D319/06;G03C1/72;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):C07D317/30;G03F7/10;G03F7/08 主分类号 C07D317/30
代理机构 代理人
主权项
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