| 发明名称 |
MATERIAL POLIMERICO RESISTENTE A PLASMA,E PROCESSO DE PREPARACAO DO MESMO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
BR8600996(A) |
申请公布日期 |
1986.11.18 |
| 申请号 |
BR1986PI00996 |
申请日期 |
1986.03.07 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
EDWARD DARKO BABICH;MIHAEL HATZAKIS;SCOTT LAURENCE JACOBS;JURI ROSTYSLAV PARASCZCAK;JANE MARGARET SHAW;DAVID FRANK WITMAN |
| 分类号 |
C08L61/00;C08K5/549;C08L33/00;C08L33/02;C08L61/04;C08L61/06;G03C1/00;G03C1/72;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/26;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):C08J7/04 |
主分类号 |
C08L61/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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