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发明名称 FILM PHOTOSENSIBLE A BASE DE POLYMERE SILICIE ET SON UTILISATION COMME RESINE DE MASQUAGE DANS UN PROCEDE DE LITHOGRAPHIE
摘要
申请公布号 FR2570844(B1) 申请公布日期 1986.11.14
申请号 FR19840014517 申请日期 1984.09.21
申请人 COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE 发明人 FRANCOIS BUIGUEZ, LOUIS GIRAL, CHARLES ROSILIO ET FRANCOIS SCHUE;GIRAL LOUIS;ROSILIO CHARLES;SCHUE FRANCOIS
分类号 G03C5/00;C08F30/08;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/075;G03F7/26;(IPC1-7):G03C1/68;C08F12/14;G03F7/02 主分类号 G03C5/00
代理机构 代理人
主权项
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