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发明名称 INVERTED POSITIVE VERTICAL FLOW CHEMICAL VAPOR DEPOSITION REACTOR CHAMBER
摘要
申请公布号 EP0142495(B1) 申请公布日期 1986.11.12
申请号 EP19830902562 申请日期 1983.07.22
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 PARSONS, JAMES, D.
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/08;C30B25/14;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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