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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6139351(Y2) 申请公布日期 1986.11.11
申请号 JP19820095092U 申请日期 1982.06.22
申请人 发明人
分类号 G04D7/00;G04G21/00;G04G99/00;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G04G1/00 主分类号 G04D7/00
代理机构 代理人
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