COMBINED GAS FLOW PLASMA REACTOR,申请号JP19860097801-传众专利搜索

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发明名称	COMBINED GAS FLOW PLASMA REACTOR
摘要
申请公布号	JPS61251036(A)	申请公布日期	1986.11.08
申请号	JP19860097801	申请日期	1986.04.26
申请人	TEGAL CORP	发明人	ANDOREASU GAAHARUDO HETSUJIDASU
分类号	H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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