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发明名称
摘要
申请公布号 JPS61166539(U) 申请公布日期 1986.10.16
申请号 JP19850049929U 申请日期 1985.04.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01C1/06;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/88;H01L21/94 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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