| 发明名称 |
INRICHTING VOOR HET AANBRENGEN VAN EEN DUNNE FILM OP EEN SUBSTRAAT. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL180604(B) |
申请公布日期 |
1986.10.16 |
| 申请号 |
NL19740000145 |
申请日期 |
1974.01.07 |
| 申请人 |
COULTER SYSTEMS CORPORATION TE BEDFORD, MASSACHUSETTS, VER. ST. V. AM. |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/20;C23C14/34;C23C14/42;C23C14/54;C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):C23C4/14 |
主分类号 |
C23C14/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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