Method making use of a scanning microscope to determine the points on a sample conducting a signal of a predetermined frequency.

摘要

Verfahren zur Ermittlung der ein Signal einer bestimmten Signalfrequenz führenden Punkte auf einer Probe (IC) mit einem Rastermikroskop, bei dem eine Gruppe von Punkten nacheinander abgetastet wird. Über breitbandige Auswerteschaltung (LI') wird bei einer relativ hohen Abtastgeschwindigkeit zunächst ermittelt, ob ein eine Signalfrequenz führender Punkt abgetastet wird. Ist das der Fall, so erfolgt eine Umschaltung auf eine niedrigere Abtastgeschwindigkeit, um in den interessierenden Bereichen der Probe (IC) mit hoher Empfindlichkeit und Ortsauflösung messen zu können.