Housing for a turbo-molecular vacuum pump.

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Gehäuse für eine Turbomolekularvakuumpumpe mit einem Anschlußflansch (3) aus gutwärmeleitendem Werkstoff, z.B. Aluminium, und einem Gehäusemantel (1). Um zu verhindern, daß sich der Gehäusemantel (1) während des Ausheizens des an den Anschlußflansch (3) angeschlossenen Rezipienten unerwünscht stark erwärmt, ist der Gehäusemantel (1) zumindest im sich an den Anschlußflansch (3) anschließenden Bereich so ausgebildet, daß die Wärmeleitfähigkeit in diesem Bereich gering ist.