| 发明名称 |
MAKING OF ADJUSTABLE UNIFORM DOPE ZONE IN SILICON CRYSTAL PLATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS61225822(A) |
申请公布日期 |
1986.10.07 |
| 申请号 |
JP19860068276 |
申请日期 |
1986.03.26 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
ERUNSUTO UEE HAASU;YOAHIMU MARUCHIN;HAINTSU MITSUTOREENAA;RAINHORUTO KUUNERUTO |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B31/20;H01L21/261 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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